総合連絡事項

総合連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/01/25

ボンドテック社 接合装置搬出のお知らせ(作業日:2/16,17)


NUナノリンク利用者の皆様

ボンドテック社の接合装置を改修のため下記の日程で
NUC館より搬出いたします.
2/16(木):10:00~ 梱包作業
2/17(金):9:00~   搬出作業

装置が使用可能になる日程が決まりましたら
再度案内いたします.
G
M
T
Y
スピーチ機能は最大文字数200文字の制限があります

  (丸山 央峰)


2022/04/14

装置の登録番号と利用料金の一部改訂について


NUナノリンクのユーザ各位

4月よりマテリアル先端リサーチインフラ事業への事業変更により
旧ナノテクPFから登録番号が変更になりました.
また,一部の装置は利用料金が改訂されましたのでご確認をお願いします.

今後とも共用装置の円滑な運営へのご協力をお願いいたします.

  (システム管理者)


2021/09/30

ダイシングソー装置更新完了のお知らせ


ダイシングソーの装置更新作業が完了しました.
新装置のオペトレなどには装置管理者から案内がされますので
お待ちください.

宜しくお願いします.

  (システム管理者)


装置一覧

装置名をクリックすると各装置の予約状況カレンダーを表示します。
予約申込は「ログイン後」カレンダーの日付欄から行えます。

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
ARIM計測 NU-220 小型微細形状測定機 小坂研究所製 ET200
【先端研】
利用料金:1,700円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
旧装置名「段差計 Profilometer (微細形状測定器Surfcorder ST200)」
ARIM計測 NU-252 蛍光バイオイメージング装置 共焦点レーザ顕微鏡システム ニコン製 A1Rsi-N
【IB館西棟5階】
利用料金:1,100円
徳 悠葵
toku@mech.nagoya-u.ac.jp
内線 5122
ARIM計測 NU-254 デジタルマイクロスコープ KEYENCE製 VK-9700
【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】
利用料金:1,000円
早坂 健宏
takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5305
※故障中のため現在使用停止中(2021/11/26)
ARIM計測 NU-255 デジタルマイクロスコープ一式 KEYENCE製 VK-9510
【IB館西棟5階】
利用料金:800円
早坂 健宏
takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5305
旧装置名「3D 共焦点レーザ顕微鏡 3D Conforcal Laser Scanning Microscope (VK-9510)」
Keyence製
・ハロゲンランプ(OP-91641; 4800円)の寿命は約1000時間
・XY自動ステージの可動範囲は51mm
・Zステージの可動範囲は28mm,ハンドルの移動量は粗動約3.3mm/rev,微動2um/目盛

対物レンズ

10×

20×

50×

150×

観察測定範囲

横(H):mm

縦(V):mm

1350

1012

675

506

270

202

90

67

作動距離:mm

16.5

3.1

0.35

0.2

開口数(N.A.

0.3

0.46

0.95

0.95

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
ARIM加工 NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6
【先端研】
利用料金:2,400円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
Compatibility of jigs
 Window : 4inch wafer        / Mask : 5 inch
 Window : 30x30 microchip / Mask : 2 to 4 inch mask

Filter : half-cut        : i-line

Never forget to contact the person in charge for your first try.  
ARIM加工 NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800
【先端研】
利用料金:10,500円
高瀬 駿
takase.shun@i.mbox.nagoya-u.ac.jp
内線 5224
プロセスガス:SF6, C4F8, O2, Ar
ARIM加工 NU-210 ダイシングソー DISCO製 DAD522
【先端研】
利用料金:2,800円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
ARIM加工 NU-216 スプレーコーター サンメイ製 DC110
【先端研】
利用料金:1,800円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
ARIM加工 NU-217 リアクティブイオンエッチング装置 サムコ製 RIE-10N
【先端研】
利用料金:4,300円
大島大輝
oshima@nuee.nagoya-u.ac.jp
内線 3648
プロセスガス:SF6, C4F8, CHF3, O2
ARIM加工 NU-219 酸化・拡散炉 光洋リンドバーグ社製 MODEL270-M100
【先端研】
利用料金:1,700円
伊藤伸太郎
shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 3130
温度範囲:600-1150℃
ウェット酸化用
ARIM加工 NU-244 レーザ描画装置 Heidelberg製 mPG101-UV
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:3,100円
竹内大
takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp
内線 4481
ARIM加工 NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:4,000円
櫻井 淳平
junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5289
キャノンアネルバ製

Target 1 : Cr
Target 2 : 秦研使用中
Target 3 : Au

ターゲットの累計使用時間がCr:20 h,Au:6 h を超えましたら,装置管理担当者までご連絡ください.
ARIM加工 NU-246(1) 3次元レーザ・リソグラフィシステム Nanoscribe製 フォトニック・プロフェッショナル
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:2,600円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026

ピエゾステージに大きな負荷をかけることは禁止です.下記は特に重要です.

・必ず,交換メッセージが表示されている状態でサンプルホルダーを出し入れしてください.サーボオン状態で出し入れするとピエゾステージは故障します.

周波数ではなくScanSpeedコマンドにより速度指定を行ってください.ピエゾの共振周波数約100Hz以上で駆動することは絶対にやめてください.

(2019/07/16) 

ARIM加工 NU-246(2) 3次元レーザ・リソグラフィシステム KISCO製 SCLEAD3CD2000
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:700円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
旧装置名「超臨界乾燥装置 (Supercritial drying machine)」
ARIM加工 NU-247 ナノインプリント装置 SCIVAX製 X-300 BVU-ND
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:1,700円
伊藤伸太郎
shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 3130
形式:熱式、UV式ナノインプリント装置
被転写材料:UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂
最高使用温度:250℃、650℃
最大荷重力:50KN
ステージ速度:最大15mm/sec 最小50nm/sec
最大ワークサイズ:φ150mm
最大加圧力:2MPa
最大操作温度:100℃
真空機能:真空チャンバー付属
真空ポンプ:標準機真空到達圧力/300Pa
ARIM加工 NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB
【IB館西棟5階】
利用料金:400円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
旧装置名「diXコーティング (DACS-LAB)」
ARIM加工 NU-249 高精度電子線描画装置 日本電子(株)製 SPG-724
【IB館西棟5階】
利用料金:5,300円
野老山貴行
takayuki.tokoroyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 2787
旧装置名「FESEM JSM-7000FK」
ARIM加工 NU-250 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MJB-3
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:1,200円
竹内大
takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp
内線 4481
ARIM加工 NU-251 マスクアライナー ナノテック製 LA410
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:1,100円
山口浩樹
hiroki@nagoya-u.jp
内線 2702
ARIM加工 NU-253 SEM用断面試料作製装置 日本電子(株)製 SM-09010
【IB館西棟5階531号室】
利用料金:700円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
ARIM加工 NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE
【超高温高圧発生装置室】
利用料金:8,800円
東直輝
naoki.azuma@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 2709

旧装置名「DRIE装置 (Multiplex-ASE-LS)」


住友精密工業製

エッチングガス:SF6
パッシベーションガス:C4F8
その他導入可能ガス:O2,Ar

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
加工 ウエハ接合装置 ボンドテック社製 WAP-100N
【NIC5階クリーンルーム】
Tentative:3,000円
櫻井 淳平
junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5289
カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
計測 ZYGO(白色干渉顕微鏡)
【IB館西棟5階】
利用料金:500円
張 賀東
zhang@i.nagoya-u.ac.jp
内線 4803
Using scanning white light interferometry technology, ZYGO NewView 6200 provides three-dimensional surface profile measurements with a vertical resolution of 0.1 nm and a lateral resolution of 0.43 µm. Profile heights range from sub-nm up to 15 mm, independent of surface texture, magnification, or feature height. ZYGO NewView 6200 measures a wide range of surfaces, including smooth, rough, flat, sloped, and stepped surfaces, characterizing and quantifying surface roughness, step heights, critical dimensions, and other topographical features. All measurements are nondestructive, fast, and require no sample preparation.

System
Measurement Technique: Non-contact,
                                three-dimensional,
                      scanning white light and
    optical phase-shifting interferometry
Scanner: Closed-loop piezo-based,
                with highly linear capacitive 
                sensors
Objectives: Infinite conjugate
                   interferometric objectives;
                   2.5X, 5X, 10X, 50X, 100X
Zoom Lenses: High-quality discrete
                        zoom lenses;
                        0.5X, 1.0X, 2.0X
Performance
Vertical Scan Range: 15 mm
Vertical Resolution: 0.1 nm
Lateral Resolution: 0.43 µm
Test Part
Characteristics
Material: Various surfaces: opaque,
               transparent, coated, uncoated,
               specular, and nonspecular
Maximum Size: 89 x 203 x 203 mm
                         (H x W x D)
Reflectivity: 1100%

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
その他 マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター2階会議室
【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】
利用料金:0円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
その他 洗濯・乾燥機 (BW-D6LV)
【IB館西棟5階】
利用料金:100円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
日立電気洗濯乾燥機
その他 BIG-PAD
【工学部2号館424会議室(機械系会議室)】
利用料金:0円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
USBに保存しアドバンストコントローラ(PC)に接続するか、各自のPCにペンソフトドライバをインストールして接続することで、画面に書き込む等の操作が可能になります。

ペンソフトドライバは以下
SHARP HPホーム > 法人のお客様へ > ダウンロード > ドライバー・ソフトウェア>PN-L702B[70V型]タッチパネルドライバー
http://www.sharp.co.jp/lcd-display/corporate/support/download/driver.html