NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項

NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/12/01

装置復旧(一部注意事項あり)


本日装置が復旧いたしました.
チラーの交換等を行いましたがそれにあたり注意事項があります.
チラーの異常検知アラームが装置の機構と整合しておらず現在チラーの異常検知をOFFで運転しております.
プロセス中チラーに異常があった際はプロセスを手動で止めていただく必要があるため,プロセス中実行中は装置近くにいるようお願いいたします.
問題が解決次第改めてご連絡させていただきます.
ご不便をおかけしますがご了承ください.
よろしくお願いいたします.


  (高瀬 駿)


2023/01/16

ICPエラー


ICP電源でエラーが発生しております.

現在原因を調査中ですので,装置利用を一時停止いたします.
進展があり次第再度メンテナンスいたします.

  (装置担当者)


2022/11/21

チャンバ内クリーニング


名古屋大学全額計画停電に伴い装置を立ち下げておりましたが,

以前Heリークエラーの報告があったためこの機会にチャンバ内清掃を実施いたします.
そのため装置の立ち上げが少々遅れ,11月23日を予定しております.
よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/04/28 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

         

1

11時 ~ 14時
所属:岩田研究室
申込:宇理須恒雄(NANORUS)
内線:4428

2

3

4

17時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

5

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

6

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

7

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

8

15時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

9

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

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