NU-217 リアクティブイオンエッチング装置 サムコ製 RIE-10N - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
RIE-10Nは故障し、使用できなくなりました。
(装置担当者)
ロータリーポンプ不具合のため，装置使用を一時停止いたします．
利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。
予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/05/20 以内の日付を指定してください。 使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。
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