NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2024/01/24
装置の利用停止
ターボ分子ポンプの不具合により，当面の間装置の利用を停止します．
(装置担当者)
2023/07/27
装置の利用停止
現在，チラーのエラーが発生しており，対応中です．
復旧目途が分かり次第，ご連絡いたします．
(装置担当者)
2023/03/29
3/30, 31の使用停止
メンテナンス作業のため，3/30と31の使用を停止します．
よろしくお願いいたします．
(装置担当者)