NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2023/04/20
装置復旧
搬送トラブル解消しました．
搬送トラブルがあった場合，櫻井まで連絡してください．
(櫻井 淳平)
2023/04/17
装置利用停止
搬送トラブルで，現在装置の利用を停止しています．
(櫻井 淳平)
2021/07/12
現状について
インピーダンスマッチング用の可変コンデンサの不具合で、マッチングがとりにくい状況です。
Cr,Ptターゲットは、マッチングがとれるので２００Wまで使用可能です。
Au（TG2）は100W以上で不安定になります。
可変コンデンサの交換の手配を進めていますが、
Cr,Ptを成膜したい人は成膜していただいて構いません。
(櫻井 淳平)