NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2015/01/14
ランプ交換
水銀ランプを交換しました
条件がかわりますので注意してください
(装置担当者)
2014/11/13
東山地区停電に伴う装置利用停止に関しまして
11/15 0:00 ~ 11/16 23:59
の間，装置を利用停止と致します
ご協力よろしくお願いします
(装置担当者)
2014/10/28
装置復旧
不具合を修理し正常に動作しております．
よろしくお願いします
Some problems have been resolved. Sincerely.
(装置担当者)