窒素発生機が故障しましたので装置利用を一時停止します.
(装置担当者)
4/20, 21日にチャンバクリーニングを含むメンテナンスを行います.
(装置担当者)
(高瀬 駿)
04/21(日) | 04/22(月) | 04/23(火) | 04/24(水) | 04/25(木) | 04/26(金) | 04/27(土) | |
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