NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2022/11/21
チャンバ内クリーニング
名古屋大学全額計画停電に伴い装置を立ち下げておりましたが,
以前Heリークエラーの報告があったためこの機会にチャンバ内清掃を実施いたします.
そのため装置の立ち上げが少々遅れ,11月23日を予定しております.
よろしくお願いいたします.
(装置担当者)
2022/10/31
装置復旧
本日,装置が無事に復旧しましたので,通常通りご利用いただけます.
(装置担当者)
2022/10/24
装置不具合
装置の冷却水に関するエラーで装置を一時停止ております.
復旧の目処が立ち次第,再度報告させていただきます.
よろしくお願いいたします.
(装置担当者)