NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
(装置担当者)
プロセスガスC4F8の流量が安定しないため，ガスボンベの交換を近日中に実施します．
本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．
利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。
予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/05/29 以内の日付を指定してください。 使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。
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15時 ～ 18時所属:装置担当者予約申込:装置担当者内線:5026
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18時 ～ 19時所属:秦研究室申込:高瀬 駿内線:5224
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9時 ～ 0時所属:装置担当者予約申込:装置担当者内線:5026
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0時 ～ 0時所属:装置担当者予約申込:装置担当者内線:5026
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