NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2015/03/12
装置復旧
本日,装置が無事に復旧しましたので,通常通りご利用いただけます.
(装置担当者)
2015/03/07
装置不具合
本日,装置の不具合が確認されましたので,一時装置使用を停止いたします.
不具合の詳細・復旧の目処が立ち次第連絡差し上げます.
(装置担当者)
2014/12/25
装置メンテナンス
2014年12月25日(木)~26日(金)
装置メンテナンスのため,装置利用を停止いたします.
(装置担当者)