NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項

NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/01/16

ICPエラー


ICP電源でエラーが発生しております.

現在原因を調査中ですので,装置利用を一時停止いたします.
進展があり次第再度メンテナンスいたします.

  (装置担当者)


2022/11/21

チャンバ内クリーニング


名古屋大学全額計画停電に伴い装置を立ち下げておりましたが,

以前Heリークエラーの報告があったためこの機会にチャンバ内清掃を実施いたします.
そのため装置の立ち上げが少々遅れ,11月23日を予定しております.
よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


2022/10/31

装置復旧


本日,装置が無事に復旧しましたので,通常通りご利用いただけます.

  (装置担当者)


NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/15 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

         

1

11時 ~ 14時
所属:岩田研究室
申込:宇理須恒雄(NANORUS)

2

3

4

17時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

5

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

6

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

7

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

8

15時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

9

0時 ~ 0時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

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