NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
本日,装置の真空計にて不具合が確認されましたので,一時装置使用を停止いたします.
不具合の詳細・復旧の目処が立ち次第連絡差し上げます.
(装置担当者)
本日,装置が無事に復旧しましたので,通常通りご利用いただけます.
本日,装置の不具合が確認されましたので,一時装置使用を停止いたします.
利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。
予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/14 以内の日付を指定してください。 使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。
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11時 ~ 14時所属:岩田研究室申込:宇理須恒雄(NANORUS)
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17時 ~ 0時所属:装置担当者予約申込:装置担当者内線:5026
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0時 ~ 0時所属:装置担当者予約申込:装置担当者内線:5026
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15時 ~ 0時所属:装置担当者予約申込:装置担当者内線:5026
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