装置の冷却水に関するエラーで装置を一時停止ております.
(装置担当者)
(装置担当者)
プロセスガスC4F8の流量が安定しないため,ガスボンベの交換を近日中に実施します.
(装置担当者)
日 | 月 | 火 | 水 | 木 | 金 | 土 |
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1 11時 ~ 14時 |
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3 |
4 17時 ~ 0時 |
5 0時 ~ 0時 |
6 0時 ~ 0時 |
7 0時 ~ 0時 |
8 15時 ~ 0時 |
9 0時 ~ 0時 |
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