NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2022/10/24

装置不具合


装置の冷却水に関するエラーで装置を一時停止ております．

復旧の目処が立ち次第，再度報告させていただきます．
よろしくお願いいたします．

  (装置担当者)

2022/06/13

プロセスガス交換


プロセスガスの交換を実施しました．
動作を確認いたしましたので，通常通りご利用いただけます．

  (装置担当者)

2022/06/11

プロセスガス交換に伴う装置利用停止


プロセスガスC4F8の流量が安定しないため，ガスボンベの交換を近日中に実施します．

交換まで一時装置の利用を停止します．
交換作業後，再度アナウンスいたします．

  (装置担当者)

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/13 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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