NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2022/03/31

装置不具合


本日，装置の真空計にて不具合が確認されましたので，一時装置使用を停止いたします．

不具合の詳細・復旧の目処が立ち次第連絡差し上げます．


  (装置担当者)

2015/03/12

装置復旧


本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．

  (装置担当者)

2015/03/07

装置不具合


本日，装置の不具合が確認されましたので，一時装置使用を停止いたします．

不具合の詳細・復旧の目処が立ち次第連絡差し上げます．

  (装置担当者)

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/13 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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23:00～05/12～05/13～05/14～05/15～05/16～05/17～05/18
0:0005/13～05/14～05/15～05/16～05/17～05/18～05/19～
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