NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2022/04/18

装置復旧


本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．

  (装置担当者)

2022/04/15

真空計交換と装置の一時停止


本日，真空計の交換作業を行いましたが，冷却水配管の結露により，

真空計の動作確認ができておらず，現在装置は停止しています．
4/18(月)に立ち上げ作業と動作確認を行いますので，
それまで装置の利用を停止します．
ご協力よろしくお願いいたします．

  (装置担当者)

2022/04/04

装置の一時復旧


本日，装置のメンテナンスを行い，真空計の故障が確認されました．
応急処置として，以前利用していた真空計と交換し装置の復旧を行いました．

通常通り利用可能ですが，新しい真空計と交換するまで動作が安定しない場合があるためご注意ください．
新しい真空計は発注したため近日中に交換予定です．

  (装置担当者)

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/14 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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