NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 連絡事項

NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2024/01/24

装置の利用停止


ターボ分子ポンプの不具合により,当面の間装置の利用を停止します.

  (装置担当者)


2023/07/27

装置の利用停止


現在,チラーのエラーが発生しており,対応中です.

復旧目途が分かり次第,ご連絡いたします.

  (装置担当者)


2023/03/29

3/30, 31の使用停止


メンテナンス作業のため,3/30と31の使用を停止します.

よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/04 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

05/05(日) 05/06(月) 05/07(火) 05/08(水) 05/09(木) 05/10(金) 05/11(土)
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