NU-256　Deep Si Etcher　住友精密工業製　Multiplex-ASE - 連絡事項

NU-256　Deep Si Etcher　住友精密工業製　Multiplex-ASE - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2024/01/24

装置の利用停止


ターボ分子ポンプの不具合により，当面の間装置の利用を停止します．

  (装置担当者)

2023/07/27

装置の利用停止


現在，チラーのエラーが発生しており，対応中です．

復旧目途が分かり次第，ご連絡いたします．

  (装置担当者)

2023/03/29

3/30, 31の使用停止


メンテナンス作業のため，3/30と31の使用を停止します．

よろしくお願いいたします．

  (装置担当者)

NU-256　Deep Si Etcher　住友精密工業製　Multiplex-ASE - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/18 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/19(日) 05/20(月) 05/21(火) 05/22(水) 05/23(木) 05/24(金) 05/25(土)
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