NU-256　Deep Si Etcher　住友精密工業製　Multiplex-ASE - 連絡事項

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2023/02/02

装置の利用再開


・チラーの故障で利用を停止しておりましたが，チラーの代替品に交換し復旧しましたので，利用を再開します．

・現在のチラーは代替品ですので，新規チラーの購入・納品後に再度交換作業をし，完全復旧をいたします．

よろしくお願いいたします．

  (装置担当者)

2022/12/14

装置の利用停止


装置利用時にチラーの電源ブレーカが落ちる問題が発生しているため，

本装置の利用を一旦停止します．

  (装置担当者)

2022/05/18

装置利用の一時停止


チャンバー内の部品の破損のため，装置利用を一時中断します．

復旧次第ご連絡します．

  (装置担当者)

NU-256　Deep Si Etcher　住友精密工業製　Multiplex-ASE - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/18 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/19(日) 05/20(月) 05/21(火) 05/22(水) 05/23(木) 05/24(金) 05/25(土)
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