NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2023/02/02
装置の利用再開
・チラーの故障で利用を停止しておりましたが，チラーの代替品に交換し復旧しましたので，利用を再開します．
・現在のチラーは代替品ですので，新規チラーの購入・納品後に再度交換作業をし，完全復旧をいたします．
よろしくお願いいたします．
(装置担当者)
2022/12/14
装置の利用停止
装置利用時にチラーの電源ブレーカが落ちる問題が発生しているため，
本装置の利用を一旦停止します．
(装置担当者)
2022/05/18
装置利用の一時停止
チャンバー内の部品の破損のため，装置利用を一時中断します．
復旧次第ご連絡します．
(装置担当者)