NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2018/02/19
装置使用不可
パソコンの修理のため，装置使用不可です．
(装置担当者)
2016/03/09
装置使用停止
2016/3/9～2016/3/16の期間
除害筒交換のため，装置の使用を停止させていただきます．
2014/04/08
【重要】装置使用時の注意
新年度になったので，再度注意事項を連絡します。
注意1
DRIE装置は基本的にSi(シリコン)のエッチングのみに使用してください。
その他の使用に関しては，必ず装置担当者にご相談をお願いします。
Coution1
Basically, Multiplex-ASE-LS is used only for Si etching.
If you want to use this device for other purpose, please contact me.
注意2
装置内部にサンプル等を落とした場合は，必ず装置担当者にご連絡をお願いします。
装置状況を確認した後，サンプルの搬出を行います。
Coution2
You must contact me, when you drop the sample in the main chamber.
We pick it out, after checking the device status.
注意3
装置の立ち上げ・立ち下げ操作は禁止とします。
装置に何か異変を感じましたら，必ず装置担当者までご連絡をお願いします。
Operation of "Power off/on" are prohibit.
If you have any questions or notice any abnormality, please do not hesitate to contact me.
(装置担当者)