NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2021/10/18
装置の利用再開
DRIEが復旧しましたので利用可です．
これまで使用していたクリーニングウエハを使うとHeリークチェックの時にエラーが出ますので、
クリーニングする際は片面鏡面の4インチウエハを使ってください。鏡面(研磨されているきれいな面)を下にして装置に入れた後に、O2クリーニングプロセスを実行してください．
質問がございましたらご連絡ください．
(装置担当者)
2021/10/13
装置の一時利用停止
ヘリウムリークが規定値を越えてエラーが発生しております。
原因を追求していますので、一時装置の利用を停止します。
ご理解の程よろしくお願いいたします。
(装置担当者)
2020/11/17
装置の利用停止
ターボ分子ポンプの不具合のため，
装置の利用を停止いたします．
(装置担当者)