NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2021/04/20
反射波調整について
スパッタの際のマッチング（反射波の調整）ですが，プラズマ着火時と，出力を上げた時のLoadとTuneの位置が異なります．
スパッタ着火しにくい場合，下記の通りで対応してみてください．
１．Ar圧をあげる
２．LoadとTuneを調整し，着火前の反射波をできるだけ下げる
３．スパッタ出力を一気に上げずに，徐々に上げながらマッチングをとる．
以上．
(櫻井 淳平)
2021/04/12
メンテナンス作業完了
本日のメンテナンス作業完了しました．シャッター完全に直りましたので，全ターゲット使用可能です．
(櫻井 淳平)
2021/04/12
メンテナンス作業
4/12にメンテナンスを行います．装置は使用できないので注意願います．
(櫻井 淳平)