NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2020/12/03
シャッター不調について
昨日，シャッタ不調の調査をしましたが，シャッター駆動のためのアクチュエータが故障しており，まだ修理は完了しておりません．
(櫻井 淳平)
2020/12/02
装置使用停止
12／2 装置修理のため使用停止とします。
(櫻井 淳平)
2020/11/27
装置状況
現在Au,Crターゲットのスパッタは可能です．
トータルの使用時間を超えないようにしてください．
Ptのシャッターの修理は12/2で日程調整中です．
(櫻井 淳平)