NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2018/11/20
【注意】ＡＵターゲット使用開始
Ａｕターゲットの交換が完了しました．
通常通り使用可能です．
(装置担当者)
2018/11/09
【注意】ＡＵターゲット使用停止
Auターゲットが使用限界を超えています．
在庫が現在ないため，Auターゲットのみ使用を控えてください．
Auターゲットが届き次第，交換予定です．
(装置担当者)
2017/07/31
装置停止
IB館の圧縮空気の供給の停止に伴い，装置を停止しています．（復旧時期は未定）
ご迷惑をおかけしますが，よろしくお願いします．
(装置担当者)