NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2020/07/27
Auターゲット利用再開
Auターゲットの交換作業完了しました．
但し，逆スパッタの不調は改善していません．
(櫻井 淳平)
2020/07/20
Auターゲット使用停止
本日，Auターゲットの反射波が下がらないと報告をうけました．
恐らくターゲットが使用不可になったと思われます．
7/22に対応予定です．
(櫻井 淳平)
2020/07/16
逆スパッタ不調
逆スパッタができないと報告を受けています．
チャンバーの清掃を来週7/22に実施いたします．
それまでは使用しない様にしてください．
逆スパッタを実施しないのであれば，その限りではありません．
(櫻井 淳平)