NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2017/07/13
装置不具合
装置の不具合がでており，現在調査中です．
(装置担当者)
2017/03/01
Ａｕターゲット使用可
Ａｕターゲットの交換が完了しました．
ターゲット３使用可の状態です．
ご迷惑をおかけしました．
(装置担当者)
2017/02/22
Ａｕターゲット使用禁止
現在、Ａｕターゲットが切れているため、
交換完了までターゲット３の使用を禁止とさせていただきます。
＊Ａｕターゲットの納期が28日の予定となっております。
ご迷惑をおかけしますが、ご理解、ご協力をお願いします。
(装置担当者)