NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/04/20

装置復旧


搬送トラブル解消しました．


搬送トラブルがあった場合，櫻井まで連絡してください．

  (櫻井　淳平)

2023/04/17

装置利用停止


搬送トラブルで，現在装置の利用を停止しています．

  (櫻井　淳平)

2021/07/12

現状について


インピーダンスマッチング用の可変コンデンサの不具合で、マッチングがとりにくい状況です。

Cr,Ptターゲットは、マッチングがとれるので２００Wまで使用可能です。
Au（TG2）は100W以上で不安定になります。

可変コンデンサの交換の手配を進めていますが、
Cr,Ptを成膜したい人は成膜していただいて構いません。

  (櫻井　淳平)

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/16 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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