NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2020/11/26

ターゲットの使用時間の厳守


スパッタターゲットの使用時間を越えてターゲットの使用は厳禁です．

今回過剰にAuターゲットを使用したためCuバッキングプレートが削れてしまっています．
現状，プラズマ発生不良が発生しています．
先の案内にも記載しましたが，COVID-19の発生した大学には2週間キャノンアネルバは，
サービスを派遣しないと明言しておりますので，
くれぐれもルールの徹底よろしくお願いいたします．

  (櫻井　淳平)

2020/11/19

Crターゲットの移動


各位

ターゲット１のシャッターの動作不良につき
暫定的にCrターゲットを2番に変更しています．

１．秦研管理（新井研管理）
２．Cｒ
３．Au

COVID-19罹患の学生が東山キャンパスででたため，2週間アネルバ社は修理に来れません．
１についてるターゲットを使用したい人は，暫定的に他のターゲットと入れ替えてください．

  (櫻井　淳平)

2020/11/12

装置不調の連絡徹底


通常通り装置が動かなかった場合，（何回か試して動いた場合も含む）

些細なことでもいいので，装置担当者に連絡をすること．

  (櫻井　淳平)

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/16 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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