NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2017/07/13

装置不具合


装置の不具合がでており，現在調査中です．

  (装置担当者)

2017/03/01

Ａｕターゲット使用可


Ａｕターゲットの交換が完了しました．

ターゲット３使用可の状態です．

ご迷惑をおかけしました．

  (装置担当者)

2017/02/22

Ａｕターゲット使用禁止


現在、Ａｕターゲットが切れているため、
交換完了までターゲット３の使用を禁止とさせていただきます。
＊Ａｕターゲットの納期が28日の予定となっております。

ご迷惑をおかけしますが、ご理解、ご協力をお願いします。

  (装置担当者)

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/16 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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