スパッタの際のマッチング（反射波の調整）ですが，プラズマ着火時と，出力を上げた時のLoadとTuneの位置が異なります．
(櫻井 淳平)
本日のメンテナンス作業完了しました．シャッター完全に直りましたので，全ターゲット使用可能です．
(櫻井 淳平)
4/12にメンテナンスを行います．装置は使用できないので注意願います．
(櫻井 淳平)
| 05/12(日) | 05/13(月) | 05/14(火) | 05/15(水) | 05/16(木) | 05/17(金) | 05/18(土) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 6:00 | |||||||
| 7:00 | |||||||
| 8:00 | |||||||
| 9:00 | |||||||
| 10:00 | |||||||
| 11:00 | |||||||
| 12:00 | |||||||
| 13:00 | |||||||
| 14:00 | |||||||
| 15:00 | |||||||
| 16:00 | |||||||
| 17:00 | |||||||
| 18:00 | |||||||
| 19:00 | |||||||
| 20:00 | |||||||
| 21:00 | |||||||
| 22:00 | |||||||
| 23:00 | ～05/12 | ～05/13 | ～05/14 | ～05/15 | ～05/16 | ～05/17 | ～05/18 |
| 0:00 | 05/13～ | 05/14～ | 05/15～ | 05/16～ | 05/17～ | 05/18～ | 05/19～ |
| 1:00 | |||||||
| 2:00 | |||||||
| 3:00 | |||||||
| 4:00 | |||||||
| 5:00 |