NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2020/07/27

Auターゲット利用再開


Auターゲットの交換作業完了しました．
但し，逆スパッタの不調は改善していません．

  (櫻井　淳平)

2020/07/20

Auターゲット使用停止


本日，Auターゲットの反射波が下がらないと報告をうけました．
恐らくターゲットが使用不可になったと思われます．

7/22に対応予定です．

  (櫻井　淳平)

2020/07/16

逆スパッタ不調


逆スパッタができないと報告を受けています．
チャンバーの清掃を来週7/22に実施いたします．
それまでは使用しない様にしてください．
逆スパッタを実施しないのであれば，その限りではありません．

  (櫻井　淳平)

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/16 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/12(日) 05/13(月) 05/14(火) 05/15(水) 05/16(木) 05/17(金) 05/18(土)
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